第一三八二章 秘而不宣
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前世,EUV光刻机的联合研发成功几乎逼近当时人类物理学、材料学以及精密制造的极限,除了光源功率要求极高,透镜和反射镜系统也极致精密,还需要真空环境,配套的抗蚀剂和防护膜的良品率也不高,别说ASML或Nikon,就算是科技实力世界第一的美国,以一国之力,完全自主制造一台EUV光刻机,比登天还难。
EUV光刻机被称为人类工业皇冠上的明珠!
汤普森院士团队虽然没有研制成功EUV,但研究成果对GCA的光源和光学精密设备的不断改进贡献极大。
由于孙健重生,濒临破产倒闭的GCA浴火重生,重回全球光刻机的龙头企业之一,成为EUV LLC联盟的重要成员,汤普森院士团队专门研究EUV光源7年,取得了不少重要技术成果,EUV LLC联盟研制成功EUV光刻机,肯定不需要15年。
GCA将成为全球唯一生产EUV光刻机的厂家,ATIC将成为最大
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